航天科技九院771所成功研制抗辐射VDMOS产品

2016年，航天科技集团九院771所新集成电路事业部全年收入超2亿元，其中VDMOS（半导体场效应晶体管）单项产品收入达8400多万元，同比增长133%。

减亏目标 从产业化开始

771所新集成电路生产线投产以来，在专项集成电路研制、开发和生产方面取得了许多成绩，但由于专项产品在种类、数量等诸多方面的限制，该条生产线并没有发挥出最佳效益，投入与产出不匹配，连年亏损。

面对困难和窘境，该所开始尝试用这条生产线开发军民两用且市场销量大的产品，将优势产品做大，实现产业化规模效应，提升经济效益。

经过认真分析，所领导决定将VDMOS作为壮大产业的主打产品，达到提质增效、减少亏损的目标。VD？MOS 产品兼有双极晶体管和普通MOS器件的优点，在功率器件市场中的份额占比达到45%。该所加大力度，重点将VDMOS产品产业化。

模式创新 尝试有限产业链

过去，由于对新集成电路生产线采用了当时比较流行的纯工艺代工模式，所里没有自己的主打产品，没有自己的研发核心，规模有限，经济效益受到影响。

为了在经营模式上支持新集成电路生产线的发展，771所决定对该事业部生产体系进行模式创新，实施有限产业链模式，成立专项产品设计组，使该事业部由代工的垂直分工模式向有限产业链模式转化。

这一模式与目前集成电路业界的发展模式不同，但加强了设计工程师与工艺工程师的结合，促进了工艺与生产的融合，提高了产品的成品率，为VDMOS产业化奠定了基础。

攻占高端 争取弯道超车

随着国家经济发展步入新常态，集成电路行业遇到了许多新问题。在民用市场上，虽然 VDMOS 产品用途广、市场占有量大，但竞争激烈，且产品附加值低。

不过，在专项高端市场上，情况大不一样，国家大力支持研制自主可控的国产高端元器件。而771所是国家唯一的计算机、集成电路和混合集成电路等科研生产为一体的研究所，特别是在集成电路抗辐照工艺领域有自己独特的优势和特长。这些成为771 所VDMOS 产品进入高端领域的条件。

要实现VDMOS 产品的最大效益，走高端产品路线是实现弯道超车的最佳思路。于是，该所事业部经过反复研讨，决心在抗辐射VDMOS 产品上下大功夫。

产品突破 把工艺作为重点

在集成电路产品的生产上，工艺非常重要，工艺条件限定了产品的开发，影响着产品的成品率，因此，抗辐射VDMOS产品成功与否的关键在工艺。抓工艺纪律，提高工艺技术，也就成了最实际的工作。

为此，771所强化技术状态管理，该事业部由代工的状态管理模式逐渐向全寿命周期质量管控模式转型，履行产品质量保证的主体责任，提升了工艺流程文件管控等级。

该所还重点针对VDMOS工艺平台关键工序加强技术管控，完成了管控措施的落实，每月对生产线约340个工序点进行工艺稳定性监控，月平均达标率保持在99%，提升了产品的稳定生产能力。

在研制中，771所创新性提出了抗辐射加固器件结构设计技术和特殊制造工艺，使工艺技术再上一个新台阶。工艺技术的进步，形成了全产业链的抗辐射VDMOS 产品平台，产品在质量、产量上也取得了重大突破。

经过努力，771所2016年完成了44款VDMOS 产品的开发。目前，这些产品大部分已通过鉴定定型，实现批产，用于多种型号任务，创造了可观的效益。2017年以来，该所与多家单位签订了VDMOS 供货合同，以期实现更高的经济效益和社会效益。