上海电气制成首台国产6代曝光机

日前，由上海电气集团股份有限公司（简称“上海电气”）下属上海微电子装备（集团）股份有限公司自主研发的具有世界先进水平的首台平板显示6代投影曝光机正式发运。这对我国的平板显示制造产业及装备产业发展都有重大意义。

长期以来，我国平板显示制造的中高端设备主要依靠进口，特别是投影曝光机。全球仅日本的尼康公司和佳能公司掌握了这一技术。上微6代投影曝光机的成功开发，将彻底打破这一现状。

应用于平板显示制造的投影曝光机极为复杂。该产品需要在1500mm×1850mm的区域内制作只有五十分之一头发直径的线条，且每根线条的位置精度要控制在一百五十分之一头发直径以内。上微用系统工程管理思想和方法来组织推进投影曝光机项目实施，坚持用产品化、工程化思想来进行产品研发，成功突破了投影曝光机的系统多、技术复杂性强、专利壁垒多等难题，成为全球第三家具备量产6代投影曝光机能力的公司，有力提升了我国高精密零件制造能力。