我国建成首条光刻用石英玻璃基板成套生产线

近日，中国建材集团所属中国建材总院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造技术，在衢州建成了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。

该生产线的建立，是中国建材总院承担的“十二五”国家科技支撑计划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技术研发及示范”课题的成果之一。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件，市场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有热稳定性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点。然而，受原材料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约，我国石英玻璃基板长期依赖进口。

经过中国建材总院科研人员的不懈努力，最终形成了一套符合我国行业现状与发展趋势的独有工艺路线，不但解决了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀性难题，同时实现了原材料绿色制造。该项目还引入多刀切割、安全快速磨抛工艺，创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技术，解决了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原材料制造到产品加工，中国建材总院形成专利20余项，行业标准、国军标及国家标准10余项，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品，不仅逐步替代进口产品，实现了高性能石英玻璃关键材料及制品的国产化，而且还出口到欧洲、日本等国。