我国首条非硅微机电中试生产线在兵器工业集团获突破

文章来源:中国兵器工业集团公司  发布时间:2008-12-12

  近日,从我国首条非硅微机电中试生产线的诞生地——中国兵器工业集团山西北方惠丰机电有限公司传来喜讯,在该公司和西安机电信息研究所、北京理工大学、上海交通大学等院所的强强联合下,经过了广大科技人员历时3个多月的工艺开发,试制工作取得了阶段性突破,通过采用非纳米技术和国际尖端的三维半导体微细加工工艺,生产出了产品样品,填补了国内空白。

  微机电系统是微米大小的机械系统,包括不同形状的三维平板印刷产生的系统,属于国内领先、国际一流的高新技术项目。非硅微机电中试生产线为国家专项投资,于2006年奠基,2007年竣工。

  据悉,此次生产试制出的样品与原部件相比体积缩小了七分之一,尺寸和精度均达到了设计要求,替代了传统的机械部件,创新了设计思路和加工方法,实现了工艺创新的新跨越、新突破。同时,该项技术还可拓展到产品制造、汽车安全、生物医学等领域的高端制造,市场前景和经济效益十分看好,是兵器工业集团惠丰公司走出“红海”、超越“蓝海”、驶向“深海”的创新实践。

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