中国电科承担国家科技重大专项取得突破

　　近日，中国电子科技集团公司(简称中国电科)承担的国家重大科技专项——— 极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项课题之一的300mm多线切割机研制成功。该设备具有完全自主知识产权。该设备的研制成功，打破了国内生产线上运行的12英寸多线切割机全部为进口设备的现状。

　　这个项目是由中国电科自行设计、配套，攻克了衡张力控制、工件台精密运动、切割均匀性及表面切割质量等关键技术，克服了断线、移动臂移动失位、钢丝带不进砂浆等实际问题，研制成功的实用化机型能够一次切割出400多片满足生产线要求的12英寸硅片。

　　该项技术已向太阳能硅材料加工领域延伸。300mm多线切割机技术应用到太阳能电池行业，可一次性切割156mm×156mm的硅片5000～6000片。目前中国电科已与国际大型太阳能硅片企业签订战略合作协议，进行多功位线锯的研发，2011年6月前后将完成商业机型的生产线工艺验收。

　　中国电科已经初步形成了601太阳能多线切割机、300mm多线切割机等系列化的多线切割设备，占据了国内线切割技术的制高点，满足了不同行业、不同规模客户的不同需要。