国机集团研制国内首台全自动龙门式12英吋砂轮划片机

　　近日，中国机械工业集团公司（简称国机集团）所属沈阳仪表院 “12英寸IC专用芯片划片工艺装备研制”通过了科技成果鉴定。 项目研制出了国内首台全自动、龙门式12英吋砂轮划片机。最高累积步进精度可达2μm/310mm，主轴最高转速41000r/min。申请国家发明专利3项以上，实用新型专利4项以上，取得了一批具有自主知识产权的研究成果，填补了国内空白，整体技术水平达到国际先进水平，形成了相应技术规范和标准。项目的研发成功为提升我国IC（集成电路）装备的技术水平档次、提高国内外市场的竞争力和市场占有率，满足我国IC装备需求将起到重要的推进作用。