中国电科做好重大专项研发力 争高端产品国产化和产业化

　　中国电子科技集团公司（简称中国电科）48所抓住国家IC产业发展机遇，充分利用“十五”期间积淀的技术基础、搭建的研发平台，于2008年、2011年先后承担了02专项90-65nm大角度中束流离子注入机和45-22nm低能大束流离子注入机研发与产业化项目。

　　90-65nm大角度中束流离子注入机项目进展平稳顺利

　　β机于2010年11月进入中芯国际北京生产线，2011年完成成套工艺小批量产品流片与马拉松测试。2012年，通过功能改进及售后服务质量提升，先后进行的性能测试表明：0.16um的颗粒在20个/片以下，达到用户的要求；生产效率接近主流设备水平；气态离子源使用达到600小时。基于工艺测试的良好表现，中芯国际进行了小批量商用产品试生产，结果显示：该设备满足大生产线90-65nm工艺要求，能较好地完成产品的生产。

　　研发过程中，项目团队申请发明专利103项，授权4项。目前，48所已与中芯国际工厂初步达成多机台销售意向，并正与国内几家知名半导体厂家进行销售洽谈。

　　48所将继续优化软件系统，提高软件可靠性；完成项目验收资料整理与齐套；致力于市场拓展，确保项目产业化目标的圆满完成；加强加大研发人员的建设与锻炼，建设一支新型的团队。

　　45-22nm低能大束流离子注入机项目进展有序有为

　　2011年，48所制定了低能大束流离子注入机整机研发方案，细化各节点目标及计划，完成关键技术宽带束离子源系统搭建，进行宽带束离子源参数测试。2012年3月完成光路设计及验证，并通过专家评审。目前，项目已完成α机整机分系统方案设计，正处于整机零部件设计、采购与加工阶段。

　　项目研发过程中，研发团队结合创新情况，已申请专利3项。2012年底，48所将在完成 α机整机安装集成的同时，进一步完善项目管理和质量控制体系，充分利用多年积累的技术优势和研发经验，为项目的成功研制奠定基础。近日，48所离子注入机团队在中国电科第二届科技与创新大会荣获“科技与创新大会创新团队”表彰。

　　中国电科48所将继续弘扬“敢于挑战、勇于创新、甘于奉献”的精神风貌，持续加强攻关力度，不断提高创新能力，严格按照项目节点要求，高效推动项目进展，力争实现离子注入装备系列高端产品的国产化与产业化。