中国电科做好重大专项研发力 争高端产品国产化和产业化

文章来源:中国电子科技集团公司  发布时间:2012-09-11

  中国电子科技集团公司(简称中国电科)48所抓住国家IC产业发展机遇,充分利用“十五”期间积淀的技术基础、搭建的研发平台,于2008年、2011年先后承担了02专项90-65nm大角度中束流离子注入机和45-22nm低能大束流离子注入机研发与产业化项目。

  90-65nm大角度中束流离子注入机项目进展平稳顺利

  β机于2010年11月进入中芯国际北京生产线,2011年完成成套工艺小批量产品流片与马拉松测试。2012年,通过功能改进及售后服务质量提升,先后进行的性能测试表明:0.16um的颗粒在20个/片以下,达到用户的要求;生产效率接近主流设备水平;气态离子源使用达到600小时。基于工艺测试的良好表现,中芯国际进行了小批量商用产品试生产,结果显示:该设备满足大生产线90-65nm工艺要求,能较好地完成产品的生产。

  研发过程中,项目团队申请发明专利103项,授权4项。目前,48所已与中芯国际工厂初步达成多机台销售意向,并正与国内几家知名半导体厂家进行销售洽谈。

  48所将继续优化软件系统,提高软件可靠性;完成项目验收资料整理与齐套;致力于市场拓展,确保项目产业化目标的圆满完成;加强加大研发人员的建设与锻炼,建设一支新型的团队。

  45-22nm低能大束流离子注入机项目进展有序有为

  2011年,48所制定了低能大束流离子注入机整机研发方案,细化各节点目标及计划,完成关键技术宽带束离子源系统搭建,进行宽带束离子源参数测试。2012年3月完成光路设计及验证,并通过专家评审。目前,项目已完成α机整机分系统方案设计,正处于整机零部件设计、采购与加工阶段。

  项目研发过程中,研发团队结合创新情况,已申请专利3项。2012年底,48所将在完成 α机整机安装集成的同时,进一步完善项目管理和质量控制体系,充分利用多年积累的技术优势和研发经验,为项目的成功研制奠定基础。近日,48所离子注入机团队在中国电科第二届科技与创新大会荣获“科技与创新大会创新团队”表彰。

  中国电科48所将继续弘扬“敢于挑战、勇于创新、甘于奉献”的精神风貌,持续加强攻关力度,不断提高创新能力,严格按照项目节点要求,高效推动项目进展,力争实现离子注入装备系列高端产品的国产化与产业化。

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