兵器装备集团成功研制磁控溅射镀膜机填补国内空白

　　近日，中国兵器装备集团公司成功研制出国内首套磁控溅射镀膜机，填补了该项目国内空白，实现了高精度溅射镀膜机的国产化，满足我国当前大批量、稳定镀制多种高品质精密光学薄膜的需求，为我国今后一段时期的镀膜机研发提供了方向。该机型由集团公司自主研制生产，具有完全自主知识产权，其技术水平处于国内领先，创造了国内镀膜机研制的4个第一次：第一次采用磁控溅射和电子蒸镀两套镀膜系统，将蒸镀技术与溅射技术在一台机器上实现成功覆盖，在国内首次具备了蒸镀和溅射两种功能为一体的两用机型，减少了设备的采购成本和能源消耗；第一次在真空室的设计上采用双真空室，有利于提高工作效率、保护靶材和节能降耗；第一次运用了分子泵技术，使极限真空实现一次性达标；在控制部分第一次采用工控机控制，提高了设备的自动化程度，避免了人为因素造成的失误。