国机集团MEMS硅基压力敏感芯片批产工艺填补国内空白

　　日前，中国机械工业集团公司所属沈阳仪表科学研究院（沈阳仪表院）自主研发的“MEMS硅基压力敏感芯片批产工艺技术”项目科研成果经专家鉴定，达到了国内领先、国际先进水平，填补了我国自主批量生产硅基压力敏感芯片的空白。

　　作为压力传感器的核心部件，MEMS硅基压力敏感芯片是决定压力传感器性能的关键。该项目建立了国内惟一一条具有自主产权的、采用MEMS工艺批量生产硅基压力敏感芯片的生产线，年产能为150万只芯片，并同步完成批产工艺规范及产品企业标准的制定工作。该产品不仅替代进口，还配套量产了多类硅基压力传感器，可广泛用于航空航天、石油化工、水电、冶金制造、医药卫生、食品加工及城市给排水等领域，取得了良好的经济效益和社会效益，累计新增产值3500多万元。