近期,中色(宁夏)东方集团研发的《极大规模集成电路300mm硅片工艺用溅射靶材研发与产业化》项目,经中国有色金属工业协会鉴定,整体技术达到国际先进水平。该项目打破了发达国家对集成电路用高端靶材的垄断,建立了我国民族半导体工业的特色产业链,对推动和发展我国电子信息及相关产业的技术进步和产业安全起到了重要作用。
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近期,中色(宁夏)东方集团研发的《极大规模集成电路300mm硅片工艺用溅射靶材研发与产业化》项目,经中国有色金属工业协会鉴定,整体技术达到国际先进水平。该项目打破了发达国家对集成电路用高端靶材的垄断,建立了我国民族半导体工业的特色产业链,对推动和发展我国电子信息及相关产业的技术进步和产业安全起到了重要作用。
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